武则天解决了继承人的问题后,武则天已经没有什么棘手的问题需要解决,她志得意满,加上年龄增长,开始耽于享乐。
张易之、张昌宗兄弟年少美姿容,入侍武后。二人常傅朱粉、穿着华丽的衣服。武承嗣、武三思等都争着追捧他们,甚至为他们执鞭牵马。当时武则天已经进入真正意义上的暮年,老病缠身的她长时间不能上朝,对朝政的控制力下降,她将二张兄弟当做耳目,二张兄弟逐渐插手朝政,陷害宰相魏元忠,不仅跟大臣结怨,也使得武则天回归李唐、传位太子的形势发生逆转,引起了政局的复杂化,武则天母子、君臣关系也因此空前紧张起来。据史料记载,武则天孙女永泰公主因与丈夫武延基和皇兄、时为邵王的李重润一起议论面首张易之、张昌宗兄弟,被处死。
神龙元年(705年)正月,武则天病笃,卧床不起,只有宠臣张易之、张昌宗兄弟侍侧。宰相张柬之、崔玄暐与大臣敬晖、桓彦范、袁恕己等,交结禁军统领李多祚,佯称张易之、张昌宗兄弟谋反,于是发动兵变,率禁军五百余人,冲入宫中,杀死二张兄弟,随即包围武则天寝宫,要求武则天退位,史称神龙革命。
武则天被迫禅让帝位与太子李显。李显上尊号为“则天大圣皇帝”,武周一朝结束,唐朝复辟,百官、旗帜、服色、文字等皆复旧制,恢复以神都为东都。
神龙元年农历十一月二十六日(705年12月16日),武则天在上阳宫病死去世,享年82岁,遗诏省去帝号,称”则天大圣皇后“。神龙二年(706年)五月,与高宗合葬乾陵。