1703年，为吏部尚书，著有《午亭文编》，《三礼指要》等。

1710年，陈廷敬受康熙之命编创《康熙字典》，他为总裁官。

1712年，陈廷敬病重，康熙命太医医治无果，次月病逝，得康熙作诗悼念，享年七十三。